(19)
(11) EP 1 143 031 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
28.04.2004  Patentblatt  2004/18

(43) Veröffentlichungstag A2:
10.10.2001  Patentblatt  2001/41

(21) Anmeldenummer: 01110904.8

(22) Anmeldetag:  11.12.1998
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 8/36, C23C 8/38, C23C 8/08, C23C 16/28
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT DE ES FR GB IT PT SE

(30) Priorität: 15.12.1997 DE 19755595

(62) Anmeldenummer der früheren Anmeldung nach Art. 76 EPÜ:
98965249.0 / 1044289

(71) Anmelder: Volkswagen AG
38436 Wolfsburg (DE)

(72) Erfinder:
  • Rodriguez Cabeo, Emilio Dr.
    38550 Isenbüttel (DE)
  • Laudien, Günther
    38542 Leiferde (DE)
  • Rie, Kyong-Tschong
    38124 Braunschweig (DE)
  • Biemer, Swen
    38100 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Fritz, Edmund Lothar, Dipl.-Chem. et al
Patentanwaltskanzlei Fritz Ostentor 9
59757 Arnsberg-Herdringen
59757 Arnsberg-Herdringen (DE)

   


(54) Plasmaborierung


(57) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Boridschicht auf einer Oberfläche durch Plasmaborieren, wobei man einem Reaktor (10) ein ein Borspendermedium enthaltendes Gasmedium zuführt und in dem Reaktor (10) eine Glimmentladung erzeugt. Bekannte Verfahren zum Plasmaborieren von z. B. metallischen Oberflächen haben den Nachteil, daß sie nicht zu porenfreien Boridschichten führen und eignen sich daher nicht für industrielle Serienanwendungen. Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß man die Parameter der Erzeugung des in einem Behandlungsraum (11) des Reaktors (10) erzeugten Plasmas so wählen muß, daß man einen erhöhten Anteil an angeregten Borpartikeln im Plasma erhält. Man gelangt so zu porenfreien Boridschichten. Die Plasmaborierung eignet sich z. B. zur Beschichtung von Bauteilen, die eine Oberfläche mit hoher Verschleißfestigkeit aufweisen müssen, da sie einer erhöhten Beanspruchung ausgesetzt sind, z. B. Zahnräder, Nockenwellen und dergleichen. Erfindungsgemäß verwendet man eine Vorrichtung mit einem Plasmagenerator, der eine gepulste Gleichspannung mit einer veränderbaren Pulsbreite und/oder Pulspause liefert.






Recherchenbericht