(19)
(11) EP 1 144 336 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.10.2001  Patentblatt  2001/42

(21) Anmeldenummer: 99964571.6

(22) Anmeldetag:  14.12.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C04B 35/591, C04B 38/00, C04B 35/64, C04B 41/00, C04B 35/587, F27B 21/04, F27D 5/00, B01J 19/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9909/916
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0037/391 (29.06.2000 Gazette  2000/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 22.12.1998 DE 19859292

(71) Anmelder: CFI Ceramics for Industry GmbH & Co. KG
96472 Rödental (DE)

(72) Erfinder:
  • WÖTTING, Gerhard
    D-96450 Coburg (DE)
  • SCHÖNFELDER, Lothar
    D-96450 Coburg (DE)
  • WILLERT-PORADA, Monika
    D-95448 Bayreuth (DE)
  • GERDES, Thorsten
    D-44141 Dortmund (DE)

(74) Vertreter: Mann, Volker, Dr. et al
Bayer AGKonzernbereich RP-PL
51368 Leverkusen
51368 Leverkusen (DE)

   


(54) WERKSTOFF AUF BASIS VON SILICIUMNITRID, DESSEN HERSTELLUNG UND VERWENDUNG IN MIKROWELLENPROZESSEN