VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN MITTELS BIPOLARER PULS-MAGNETRON-ZERSTÄUBUNG UND DEREN ANWENDUNG - Patent 1144714

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EP 1 144 714 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	17.10.2001 Patentblatt 2001/42

(21)	Anmeldenummer: 99966899.9

(22)	Anmeldetag: 27.12.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: C23C 14/35, H01J 37/34

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE9904/132

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0039/355 (06.07.2000 Gazette 2000/27)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

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Priorität:

28.12.1998 DE 19860474

(71)	Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V.
	80363 München (DE)

(72)	Erfinder:
	FIETZKE, Fred D-01127 Dresden (DE) GOEDICKE, Klaus D-01307 Dresden (DE) SCHILLER, Siegfried D-01324 Dresden (DE)

(74)	Vertreter: Pätzelt, Peter, Dipl.-Ing. et al
	Patentanwälte Pätzelt - Seltmann - HofmannWorld Trade CenterAmmonstrasse 72 01067 Dresden 01067 Dresden (DE)

(54)	VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN MITTELS BIPOLARER PULS-MAGNETRON-ZERSTÄUBUNG UND DEREN ANWENDUNG