(19)
(11) EP 1 145 284 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.10.2001  Patentblatt  2001/42

(21) Anmeldenummer: 99936266.8

(22) Anmeldetag:  12.05.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9901/485
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 9959/191 (18.11.1999 Gazette  1999/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH DE FR GB IT LI NL

(30) Priorität: 12.05.1998 DE 19821237

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LÖCHEL, Bernd
    D-14979 Grossbeeren (DE)
  • MACIOSSEK, Andreas
    D-10717 Berlin (DE)
  • BLEIDIESSEL, Gerhard
    D-15320 Trebnitz (DE)
  • WILBERS, Wilhelmus
    NL-5071 Udenhout (NL)

(74) Vertreter: Gagel, Roland, Dr. 
Patentanwalt Dr. Roland Gagel,Landsberger Strasse 480a
81241 München
81241 München (DE)

 
Bemerkungen:
Derzeit sind die WIPO-Publikationsdaten A3 nicht verfügbar.
 


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TROCKNUNG VON PHOTORESISTSCHICHTEN