(19)
(11) EP 1 145 286 A3

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.02.2002

(43) Veröffentlichungstag A2:
17.10.2001  Patentblatt  2001/42

(21) Anmeldenummer: 99964395.0

(22) Anmeldetag:  03.12.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/311, H01L 21/3213
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9903/876
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0034/985 (15.06.2000 Gazette  2000/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 04.12.1998 DE 19856082

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WEGE, Stephan
    D-01474 Weissig (DE)
  • KRAHL, Kerstin
    D-01454 Radeberg (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

 
Bemerkungen:
Derzeit sind die WIPO-Publikationsdaten A3 nicht verfügbar.
 


(54) VERFAHREN ZUM STRUKTURIEREN EINER METALLHALTIGEN SCHICHT