(19)

(11)

EP 1 145 289 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.10.2001  Patentblatt  2001/42 (21) Anmeldenummer: 99956014.7 (22) Anmeldetag:  18.11.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP9908/861 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0038/219 (29.06.2000 Gazette  2000/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 22.12.1998 DE 19859469 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72121 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: POKORNY, Joachim D-78183 Hüfingen (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing.  Wagner & Geyer,Patentanwälte,Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)