(19)
(11) EP 1 145 292 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.10.2001  Patentblatt  2001/42

(21) Anmeldenummer: 99963537.8

(22) Anmeldetag:  15.12.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9909/942
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0038/222 (29.06.2000 Gazette  2000/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 22.12.1998 DE 19859467

(71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH
72121 Pliezhausen (DE)

(72) Erfinder:
  • STEINRÜCKE, Andreas
    D-78607 Talheim (DE)

(74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing. 
Wagner & Geyer,Patentanwälte,Gewürzmühlstrasse 5
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) SUBSTRATHALTER