(19)

(11)

EP 1 145 298 A3

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 03.10.2002 (43) Veröffentlichungstag A2: 17.10.2001  Patentblatt  2001/42 (21) Anmeldenummer: 99934481.5 (22) Anmeldetag:  11.05.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/329 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9901/429 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 9906/2113 (02.12.1999 Gazette  1999/48)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FI FR GB IT NL (30) Priorität: 26.05.1998 DE 19823482 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: LOSEHAND, Reinhard D-80637 München (DE) WERTHMANN, Hubert D-81247 München (DE) (74) Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter, Dipl.-Ing. et al PatentanwälteMÜLLER & HOFFMANN,Innere Wiener Strasse 17 81667 München 81667 München (DE)
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