(19)
(11) EP 1 145 320 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.10.2001  Patentblatt  2001/42

(21) Anmeldenummer: 99967861.8

(22) Anmeldetag:  01.12.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/108, H01L 21/8242
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9903/840
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0033/383 (08.06.2000 Gazette  2000/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 02.12.1998 DE 19855688

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GOEBEL, Bernd
    D-81735 München (DE)
  • BERTAGNOLLI, Emmerich
    A-1190 Wien (AT)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) DRAM-ZELLENANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR DEREN HERSTELLUNG