(19)

(11)

EP 1 147 543 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.10.2001  Patentblatt  2001/43 (21) Anmeldenummer: 99964456.0 (22) Anmeldetag:  21.12.1999

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 29/86, H01J 29/48 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE9904/061 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0039/834 (06.07.2000 Gazette  2000/27)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 28.12.1998 DE 29823118 U (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: BURKHARDT, Klaus D-76703 Kraichtal (DE) ECKHARDT, Wolfgang D-76229 Karlsruhe (DE)