(19)
(11) EP 1 147 548 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.10.2001  Patentblatt  2001/43

(21) Anmeldenummer: 99958123.4

(22) Anmeldetag:  25.11.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/205
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP9909/122
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0034/990 (15.06.2000 Gazette  2000/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 07.12.1998 DE 19856245

(71) Anmelder: Deutsche Telekom AG
53113 Bonn (DE)

(72) Erfinder:
  • KUPHAL, Eckart
    D-64287 Darmstadt (DE)
  • JOCHUM, Stephan
    D-63739 Aschaffenburg (DE)

   


(54) HERSTELLUNG VON MEHRSCHICHTIGEN HALBLEITERSTRUKTUREN MITTELS TRÄGERGAS-UMSCHALTUNG