(19)

(11)

EP 1 147 560 A1

(12)

(43) Date de publication: 24.10.2001  Bulletin  2001/43 (21) Numéro de dépôt: 00900622.2 (22) Date de dépôt:  20.01.2000

(51) Int. Cl.7: H01L 27/146, G01J 5/20 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0000/120 (87) Numéro de publication internationale: WO 0044/050 (27.07.2000 Gazette  2000/30)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 21.01.1999 FR 9900632 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeurs: YON, Jean-Jacques 38360 Sassenage (FR) VILAIN, Michel F-38450 Saint Georges De Commiers (FR) OUVRIER-BUFFET, Jean-Louis F-74330 Sevrier (FR) (74) Mandataire: Audier, Philippe André et al Brevatome,3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)