(19)
(11) EP 1 152 977 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.11.2001  Patentblatt  2001/46

(21) Anmeldenummer: 00907450.1

(22) Anmeldetag:  26.01.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81C 1/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0000/212
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0044/667 (03.08.2000 Gazette  2000/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 28.01.1999 DE 19904307

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • KUMMER, Nils
    D-71642 Ludwigsburg (DE)
  • MUELLER-FIEDLER, Roland
    D-71229 Leonberg (DE)
  • BREITSCHWERDT, Klaus
    D-70794 Filderstadt (DE)
  • MUELLER, Andre
    D-70839 Gerlingen (DE)
  • DRIEWER, Frauke
    D-76275 Ettlingen (DE)
  • KERN, Andreas
    D-88250 Weingarten (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DREIDIMENSIONALEN STRUKTUREN MITTELS EINES ÄTZPROZESSES