(19)

(11)

EP 1 153 417 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.11.2001  Patentblatt  2001/46 (21) Anmeldenummer: 00903663.3 (22) Anmeldetag:  02.02.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0000/815 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0049/644 (24.08.2000 Gazette  2000/34)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 18.02.1999 DE 19906852 10.06.1999 DE 19926462 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: OSHINOWO, John D-72667 Schlaitdorf (DE) BIEBL, Ulrich D-79297 Winden (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing.  Wagner & Geyer,Patentanwälte,Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)