VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON FLÄCHIGEN SUBSTRATEN, INSBESONDERE SILIZIUM-SCHEIBEN (WAFER) ZUR HERSTELLUNG MIKROELEKTRONISCHER BAUELEMENTE - Patent 1153421

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EP 1 153 421 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	14.11.2001 Patentblatt 2001/46

(21)	Anmeldenummer: 99904791.3

(22)	Anmeldetag: 18.01.1999

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 21/00

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP9900/252

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0042/637 (20.07.2000 Gazette 2000/29)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT CH DE FR GB IT LI NL

(71)	Anmelder: Kunze-Concewitz, Horst
	75446 Wiernsheim (DE)

(72)	Erfinder:
	Kunze-Concewitz, Horst 75446 Wiernsheim (DE)

(74)	Vertreter: Dreiss, Fuhlendorf, Steimle & Becker
	PatentanwältePostfach 10 37 62 70032 Stuttgart 70032 Stuttgart (DE)

(54)	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN VON FLÄCHIGEN SUBSTRATEN, INSBESONDERE SILIZIUM-SCHEIBEN (WAFER) ZUR HERSTELLUNG MIKROELEKTRONISCHER BAUELEMENTE