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(11) | EP 1 153 670 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Reinigungssystem |
(57) Reinigungssystem (10) und Reinigungsverfahren zur Reinigung kontaminierter Bauelemente
(23) oder Baugruppen vor einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung, umfassend
einen Grauraum (11) zur Bereitstellung der kontaminierten Bauelemente oder Baugruppen,
eine Reinigungsvorrichtung (12) und einen Reinraum (13) zur Montage und Weiterverarbeitung
der gereinigten Bauelemente oder Baugruppen, wobei die Reinigungsvorrichtung (12)
den Reinraum (13) vom Grauraum (11) trennt und sowohl vom Grauraum als auch vom Reinraum
zugänglich ist. Die Reinigungsvorrichtung (12) weist eine Reinigungskammer (18) auf
mit zumindest zwei unabhängig voneinander betätigbaren Türeinrichtungen (16, 17). |