(19)

(11)

EP 1 155 162 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 07.12.2000 (43) Veröffentlichungstag: 21.11.2001  Patentblatt  2001/47 (21) Anmeldenummer: 00902624.6 (22) Anmeldetag:  21.01.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 18/16 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0000/445 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0046/419 (10.08.2000 Gazette  2000/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 03.02.1999 DE 19904217 19.02.1999 DE 19907245 (71) Anmelder: Bayer Aktiengesellschaft 51368 Leverkusen (DE)	(72) Erfinder: SCHÜTZ, Ulrich D-42799 Leichlingen (DE) NEU, Josef D-50321 Brühl (DE) BIENMÜLLER, Matthias D-47803 Krefeld (DE) JOACHIMI, Detlev D-47800 Krefeld (DE)