| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
06.03.1999 DE 19909889
25.08.1999 DE 19940164
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| (71) |
Anmelder: IMO INSTITUT FÜR MIKROSTRUKTURTECHNOLOGIE UND OPTOELEKTRONIK E.V. |
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35578 Wetzlar (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- DETTMANN, Fritz
D-35586 Wetzlar (DE)
- LOREIT, Uwe
D-35580 Wetzlar (DE)
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| (74) |
Vertreter: Schubert, Siegmar, Dipl.-Ing. et al |
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PatentanwälteDannenberg Schubert GudelGrosse Eschenheimer Strasse 39
60313 Frankfurt
60313 Frankfurt (DE) |
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