(19)
(11) EP 1 157 413 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.12.2000

(43) Veröffentlichungstag:
28.11.2001  Patentblatt  2001/48

(21) Anmeldenummer: 00912386.0

(22) Anmeldetag:  25.02.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/225, H01L 21/329
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0000/546
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0052/738 (08.09.2000 Gazette  2000/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 26.02.1999 DE 19908400

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SPITZ, Richard
    D-72766 Reutlingen (DE)
  • GOERLACH, Alfred
    D-72127 Kusterdingen (DE)
  • WILL, Barbara
    D-71083 Herrenberg (DE)
  • UEBBING, Helga
    D-72770 Reutlingen (DE)
  • RIEKERT, Roland
    D-72829 Engstingen (DE)
  • ADAMSKI, Christian
    D-72770 Reutlingen (DE)

(74) Vertreter: Burbaum, Christoph et al
Robert Bosch GmbH,Zentralabteilung Patente,Postfach 30 02 20
70442 Stuttgart
70442 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG HOCHDOTIERTER HALBLEITERBAUELEMENTE