(19)
(11) EP 1 157 418 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.11.2001  Patentblatt  2001/48

(21) Anmeldenummer: 00909049.9

(22) Anmeldetag:  21.02.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/56
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0000/483
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0051/176 (31.08.2000 Gazette  2000/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 25.02.1999 DE 19908186

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HAUSER, Christian
    D-93049 Regensburg (DE)
  • VIDAL, Ulrich
    D-84034 Landshut (DE)

(74) Vertreter: Hanke, Hilmar, Dipl.-Ing. 
Leopoldstrasse 77
80802 München
80802 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES INTEGRIERTEN SCHALTKREISES