(19)
(11) EP 1 159 763 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.12.2001  Patentblatt  2001/49

(21) Anmeldenummer: 00915114.3

(22) Anmeldetag:  24.02.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/87, H01L 29/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0000/508
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0052/761 (08.09.2000 Gazette  2000/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 26.02.1999 DE 19908399

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SPITZ, Richard
    D-72766 Reutlingen (DE)
  • GOERLACH, Alfred
    D-72127 Karlsruhe (DE)
  • WILL, Barbara
    D-71083 Herrenberg (DE)
  • UEBBING, Helga
    D-72770 Reutlingen (DE)
  • QU, Ning
    D-72770 Reutlingen (DE)

   


(54) MEHRSCHICHTDIODEN SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MEHRSCHICHTDIODEN