(19)

(11)

EP 1 161 765 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.12.2001  Patentblatt  2001/50 (21) Anmeldenummer: 00918768.3 (22) Anmeldetag:  08.03.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00, C25D 7/12 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0001/984 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0055/888 (21.09.2000 Gazette  2000/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 12.03.1999 DE 19911084 (71) Anmelder: STEAG MicroTech GmbH 72124 Pliezhausen (DE)	(72) Erfinder: KROEBER, Wolfgang D-78166 Donaueschingen (DE) (74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing.  WAGNER & GEYERPatentanwälteGewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)