(19)
(11) EP 1 161 766 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.12.2001  Patentblatt  2001/50

(21) Anmeldenummer: 99915481.8

(22) Anmeldetag:  17.02.1999
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/3205
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE9900/441
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0049/648 (24.08.2000 Gazette  2000/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(71) Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • WASER, Rainer
    D-52076 Aachen (DE)
  • GROSSMANN, Michael
    D-52062 Aachen (DE)
  • HOFFMANN, Susanne
    D-52068 Aachen (DE)
  • SLOWAK, Roland
    D-52079 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Möbus, Steffen 
Kayser & MöbusPatentanwälteLeienfelsstrasse 6
81243 München
81243 München (DE)

   


(54) KERAMISCHER MEHRLAGEN-DÜNNSCHICHTKONDENSATOR