| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE |
| (30) |
Priorität: |
03.04.1999 DE 19915307
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| (71) |
Anmelder: Leybold Vakuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- SCHÜTZ, Günter
D-50679 Köln (DE)
- BEYER, Christian
D-50765 Köln (DE)
- ADAMIETZ, Ralf
D-42929 Wermelskirchen (DE)
- HAAS, Dieter
D-63486 Bruchköbel (DE)
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| (74) |
Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. et al |
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Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE) |
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