(19)
(11) EP 1 166 090 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
08.03.2006  Patentblatt  2006/10

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
30.11.2005  Patentblatt  2005/48

(21) Anmeldenummer: 00925151.3

(22) Anmeldetag:  31.03.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/47(1980.01)
 G01B 11/30(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2000/002894
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2000/058713 (05.10.2000 Gazette  2000/40)

(54)

GERÄT ZUR SCHNELLEN MESSUNG WINKELABHÄNGIGER BEUGUNGSEFFEKTE AN FEINSTRUKTURIERTEN OBERFLÄCHEN

DEVICE FOR RAPIDLY MEASURING ANGLE-DEPENDENT DIFFRACTION EFFECTS ON FINELY STRUCTURED SURFACES

DISPOSITIF PERMETTANT DE MESURER RAPIDEMENT LA DIFFRACTION ANGLE-DEPENDANTE SUR DES SURFACES FINEMENT STRUCTUREES

(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE

(30) Priorität: 31.03.1999 DE 19914696

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
02.01.2002  Patentblatt  2002/01

(73) Patentinhaber:
  • Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. OHG
    01099 Dresden (DE)
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BENESCH, Norbert
    D-90411 Nuernberg (DE)
  • SCHNEIDER, Claus
    D-91088 Bubenreuth (DE)
  • PFITZNER, Lothar
    D-91054 Erlangen (DE)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 1 035 408
DE-A- 3 626 724
US-A- 4 655 592
US-A- 5 637 873
 WO-A-99/14575
DE-A- 19 824 624
US-A- 5 048 970
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).