......DE........................................................................*JDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 2999001/01166090KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFTB8B120060308W10000000073deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP00925151.3200003312001091220040210dedede1991469619990331DE2006030820061020020102200201200511302005482005061320060308200610G01N 21/47 19800101AFI20010219BHEP G01B 11/30 19680901ALI20010219BHEP deGERÄT ZUR SCHNELLEN MESSUNG WINKELABHÄNGIGER BEUGUNGSEFFEKTE AN FEINSTRUKTURIERTEN OBERFLÄCHENenDEVICE FOR RAPIDLY MEASURING ANGLE-DEPENDENT DIFFRACTION EFFECTS ON FINELY STRUCTURED SURFACESfrDISPOSITIF PERMETTANT DE MESURER RAPIDEMENT LA DIFFRACTION ANGLE-DEPENDANTE SUR DES SURFACES FINEMENT STRUCTUREESEP-A- 1 035 408WO-A-99/14575DE-A- 3 626 724DE-A- 19 824 624US-A- 4 655 592US-A- 5 048 970US-A- 5 637 873BENESCH, NorbertHerrnhuettestrasse 67D-90411 NuernbergDESCHNEIDER, ClausAm Sandberg 33D-91088 BubenreuthDEPFITZNER, LotharSpardorfer Strasse 52D-91054 ErlangenDEInfineon Technologies SC300 GmbH & Co. OHG05096550P2001.0164 EP NKönigsbrücker Strasse 18001099 DresdenDEFraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.00211777P2001.0164 EP NHansastrasse 27 c80686 MünchenDEEpping - Hermann - Fischer00101751Ridlerstrasse 5580339 MünchenDEDEEP200000289420000331deWO20000587132000100520004020010201000000