(19)

(11)

EP 1 166 150 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.01.2002  Bulletin  2002/01 (21) Numéro de dépôt: 00911002.4 (22) Date de dépôt:  20.03.2000

(51) Int. Cl.7: G01T 1/24, H01L 27/146 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0000/685 (87) Numéro de publication internationale: WO 0057/205 (28.09.2000 Gazette  2000/39)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 23.03.1999 FR 9903588 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeurs: VERGER, Loick F-38000 Grenoble (FR) PEYRET, Olivier F-38120 Le Fontanil (FR) ARQUES, Marc F-38100 Grenoble (FR) WOLNY, Michel F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Des Termes, Monique et al BREVALEX 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)