(19)
(11) EP 1 166 325 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2002  Patentblatt  2002/01

(21) Anmeldenummer: 01909536.3

(22) Anmeldetag:  26.01.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32, H01L 21/66
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/334
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0157/911 (09.08.2001 Gazette  2001/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 02.02.2000 DE 10004391

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ENGELHARDT, Manfred
    83620 Feldkirchen-Westerham (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR DURCHFÜHRUNG EINES PLASMAÄTZPROZESSES