VERFAHREN ZUR PROZESSIERUNG EINER MONOKRISTALLINEN HALBLEITERSCHEIBE UND TEILWEISE PROZESSIERTE HALBLEITERSCHEIBE - Patent 1166339

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EP 1 166 339 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	02.01.2002 Patentblatt 2002/01

(21)	Anmeldenummer: 00929254.1

(22)	Anmeldetag: 24.03.2000

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 21/02, H01L 21/314, H01L 21/318

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE0000/938

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0060/646 (12.10.2000 Gazette 2000/41)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

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Priorität:

01.04.1999 DE 19915078

(71)	Anmelder: Infineon Technologies AG
	81669 München (DE)

(72)	Erfinder:
	HÖPFNER, Joachim D-82152 Planegg (DE)

(74)	Vertreter: Graf Lambsdorff, Matthias, Dr. et al
	Patentanwälte Lambsdorff & Lange Dingolfinger Strasse 6 81673 München 81673 München (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR PROZESSIERUNG EINER MONOKRISTALLINEN HALBLEITERSCHEIBE UND TEILWEISE PROZESSIERTE HALBLEITERSCHEIBE