ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01166345A120020102EP00930977.42000031020011012DeDeDe1991115019990312DE20020102200201200201022002017 7H 01L 21/3213 A 7H 01L 21/02 BdeVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROELEKTRONISCHEN STRUKTURenMETHOD FOR PRODUCING A MICROELECTRONIC STRUCTUREfrPROCEDE DE PRODUCTION D'UNE STRUCTURE MICROELECTRONIQUEInfineon Technologies AG02806431P 22207Technologies AG, InfineonSt.-Martin-Strasse 5381669 MünchenDEWENDT, HermannAm Weichselgarten 49D-85630 GrasbrunnDEFRITSCH, ElkeJoseph-Maria-Lutz-Anger 1D-81737 MünchenDESTENGL, ReinhardBergstrasse 3D-86391 StadtbergenDEHOENLEIN, WolfgangParkstrasse 8 AD-82008 UnterhachingDESCHWARZL, SiegfriedJosef-Kyrein-Strasse 11BD-85579 NeubibergDEBEITEL, GerhardLinprunstrasse 44D-80335 MünchenDEViering, Jentschura & Partner00100645Postfach 22 14 4380504 MünchenDEATBECHCYDEDKESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSEDE000078620000310DeWO005431820000914200037