(19)

(11)

EP 1 166 356 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.01.2002  Patentblatt  2002/01 (21) Anmeldenummer: 00920343.1 (22) Anmeldetag:  01.03.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/112 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0000/615 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0054/334 (14.09.2000 Gazette  2000/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 09.03.1999 DE 19910353 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: MARTIN, Ekkart D-80689 München (DE) OSTERMAYR, Martin D-85540 Haar (DE) (74) Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter, Dipl.-Ing. et al Patentanwälte MÜLLER & HOFFMANN, Innere Wiener Strasse 17 81667 München 81667 München (DE)