(19)

(11)

EP 1 169 492 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 19.04.2001 (43) Veröffentlichungstag: 09.01.2002  Patentblatt  2002/02 (21) Anmeldenummer: 00934914.3 (22) Anmeldetag:  06.04.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 26/00, H01L 21/368, H01L 31/18 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0001/173 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0060/135 (12.10.2000 Gazette  2000/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 06.04.1999 DE 19916403 (71) Anmelder: Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH 14109 Berlin (DE)	(72) Erfinder: FISCHER, Christian-Herbert D-14169 Berlin (DE) MUFFLER, Hans-Jürgen D-10789 Berlin (DE) LUX-STEINER, Martha, Christina D-14163 Berlin (DE) (74) Vertreter: Hoffmann, Heinz-Dietrich et al Gemeinsamer Patentservice, Hausvogteiplatz 5-7 10117 Berlin 10117 Berlin (DE)