(19)

(11)

EP 1 169 732 A1

(12)

(43) Date de publication: 09.01.2002  Bulletin  2002/02 (21) Numéro de dépôt: 00917124.0 (22) Date de dépôt:  05.04.2000

(51) Int. Cl.7: H01L 21/336, H01L 21/20, H01L 21/268 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0000/854 (87) Numéro de publication internationale: WO 0062/336 (19.10.2000 Gazette  2000/42)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE Etats d'extension désignés: AL LT LV MK RO SI (30) Priorité: 09.04.1999 FR 9904468 (71) Demandeur: SOCIETE DE PRODUCTION ET DE RECHERCHES APPLIQUEES SOPRA 92270 Bois Colombes (FR)	(72) Inventeurs: STEHLE, Marc F-92190 Meudon (FR) ZAHORSKI, Dorian F-92170 Vanves (FR) (74) Mandataire: Plaçais, Jean-Yves et al Cabinet Netter, 40, rue Vignon 75009 Paris 75009 Paris (FR)