(19)

(11)

EP 1 173 881 A1

(12)

(43) Date de publication: 23.01.2002  Bulletin  2002/04 (21) Numéro de dépôt: 00918959.8 (22) Date de dépôt:  12.04.2000

(51) Int. Cl.7: H01L 21/00, C23C 14/54 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0000/946 (87) Numéro de publication internationale: WO 0062/333 (19.10.2000 Gazette  2000/42)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 12.04.1999 FR 9904680 (71) Demandeur: Joint Industrial Processors for Electronics 72430 Noyen sur Sarthe (FR)	(72) Inventeurs: DUCRET, Pierre F-38920 Crolles (FR) GUILLON, Hervé F-38920 Crolles (FR) (74) Mandataire: Hecké, Gérard  Cabinet HECKE World Trade Center - Europole, 5, Place Robert Schuman, BP 1537 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)