(19)
(11) EP 1 175 696 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.03.2001

(43) Veröffentlichungstag:
30.01.2002  Patentblatt  2002/05

(21) Anmeldenummer: 00934959.8

(22) Anmeldetag:  22.04.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/265
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0003/664
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0067/299 (09.11.2000 Gazette  2000/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 03.05.1999 DE 19920322
18.06.1999 DE 19927962

(71) Anmelder: STEAG RTP Systems GmbH
89160 Dornstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • LERCH, Wilfried
    D-89160 Dornstadt (DE)
  • ROTERS, Georg
    D-48249 Dülmen (DE)
  • MARCUS, Steven, D.
    Tempe, AZ 85284 (US)

(74) Vertreter: Wagner, Karl H., Dipl.-Ing. et al
Wagner & Geyer, Patentanwälte, Gewürzmühlstrasse 5
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN VON DEFEKTEN IN EINER GITTERSTRUKTUR EINES HALBLEITERMATERIALS