(19)

(11)

EP 1 177 325 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 25.10.2001 (43) Veröffentlichungstag: 06.02.2002  Patentblatt  2002/06 (21) Anmeldenummer: 00901102.4 (22) Anmeldetag:  14.01.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 2/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0000/258 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0041/475 (20.07.2000 Gazette  2000/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorität: 18.01.1999 DE 19901624 (71) Anmelder: Helmut Fischer GmbH & Co. 71069 Sindelfingen (DE)	(72) Erfinder: FISCHER, Helmut D-75391 Gechingen (DE) (74) Vertreter: Maser, Jochen, Dipl.-Ing.  Patentanwälte Kinkelin, Mammel und Maser, Weimarer Strasse 32/34 71065 Sindelfingen 71065 Sindelfingen (DE)