(19)
(11) EP 1 177 426 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.02.2002  Patentblatt  2002/06

(21) Anmeldenummer: 00927164.4

(22) Anmeldetag:  08.05.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01N 21/64, G02B 21/18, G01N 15/14
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0004/115
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0068/667 (16.11.2000 Gazette  2000/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 07.05.1999 DE 19921127

(71) Anmelder: MetaSystems Hard & Software GmbH
68804 Altlussheim (DE)

(72) Erfinder:
  • LÖRCH, Thomas
    D-68799 Reilingen (DE)
  • PLESCH, Andreas
    D-68723 Schwetzingen (DE)

(74) Vertreter: Müller-Boré & Partner Patentanwälte 
Grafinger Strasse 2
81671 München
81671 München (DE)

   


(54) MIKROSKOPSYSTEME ZUR OPTISCHEN ABTASTUNG VON MIKROSKOPISCHEN OBJEKTEN