(19)
(11)
EP 1 177 426 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
06.02.2002
Patentblatt 2002/06
(21)
Anmeldenummer:
00927164.4
(22)
Anmeldetag:
08.05.2000
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
G01N
21/64
,
G02B
21/18
,
G01N
15/14
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0004/115
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0068/667
(
16.11.2000
Gazette 2000/46)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI
(30)
Priorität:
07.05.1999
DE 19921127
(71)
Anmelder:
MetaSystems Hard & Software GmbH
68804 Altlussheim (DE)
(72)
Erfinder:
LÖRCH, Thomas
D-68799 Reilingen (DE)
PLESCH, Andreas
D-68723 Schwetzingen (DE)
(74)
Vertreter:
Müller-Boré & Partner Patentanwälte
Grafinger Strasse 2
81671 München
81671 München (DE)
(54)
MIKROSKOPSYSTEME ZUR OPTISCHEN ABTASTUNG VON MIKROSKOPISCHEN OBJEKTEN