(19)

(11)

EP 1 177 576 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 26.07.2001 (43) Veröffentlichungstag: 06.02.2002  Patentblatt  2002/06 (21) Anmeldenummer: 00926684.2 (22) Anmeldetag:  16.03.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/76 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0000/812 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0060/670 (12.10.2000 Gazette  2000/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 31.03.1999 DE 19914803 (71) Anmelder: SiCED Electronics Development GmbH & Co KG 91052 Erlangen (DE)	(72) Erfinder: WEIS, Benno D-91334 Hemhofen (DE) PETERS, Dethard D-91315 Höchstadt (DE) MITLEHNER, Heinz D-91080 Uttenreuth (DE) (74) Vertreter: Zedlitz, Peter, Dipl.-Inf. et al Patentanwalt, Postfach 22 13 17 80503 München 80503 München (DE)