PROCEDE DE CREATION DE LIGNES DE CONNEXION ET DE POINTS DE CONTACT SOUS-JACENTS DANS UN SUBSTRAT DIELECTRIQUE - Patent 1177577

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EP 1 177 577 A1

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(43)	Date de publication:
	06.02.2002 Bulletin 2002/06

(21)	Numéro de dépôt: 00912726.7

(22)	Date de dépôt: 22.03.2000

(51)	Int. Cl.⁷: H01L 21/768

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR0000/717

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0059/030 (05.10.2000 Gazette 2000/40)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

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Priorité:

26.03.1999 FR 9903819

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72)	Inventeurs:
	TROUILLER, Yorick F-38000 Grenoble (FR) DEMOLLIENS, Olivier F-38120 St Egreve (FR)

(74)	Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe et al
	c/o Société Brevatome, 3, rue du Docteur Lanceraux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	PROCEDE DE CREATION DE LIGNES DE CONNEXION ET DE POINTS DE CONTACT SOUS-JACENTS DANS UN SUBSTRAT DIELECTRIQUE