(19)

(11)

EP 1 177 580 A1

(12)

(43) Date de publication: 06.02.2002  Bulletin  2002/06 (21) Numéro de dépôt: 00922771.1 (22) Date de dépôt:  27.04.2000

(51) Int. Cl.7: H01L 27/146, G01T 1/24 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0001/125 (87) Numéro de publication internationale: WO 0067/328 (09.11.2000 Gazette  2000/45)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 30.04.1999 FR 9905527 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeurs: MONNET, Olivier F-38210 Tullins (FR) MESTAIS, Corinne F-38660 la Terrasse (FR) ROSTAING, Jean-Pierre F-38260 la Cote Saint Andre (FR) DUPRE, René F-91300 Massy (FR) (74) Mandataire: Signore, Robert et al BREVALEX 3, rue du Docteur Lanceraux 75008 Paris 75008 Paris (FR)