(19)

(11)

EP 1 177 584 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 01.03.2001 (43) Veröffentlichungstag: 06.02.2002  Patentblatt  2002/06 (21) Anmeldenummer: 00934884.8 (22) Anmeldetag:  10.04.2000

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/032, H01L 31/18, H01L 31/048 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0001/073 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0062/347 (19.10.2000 Gazette  2000/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 10.04.1999 DE 19917758 (71) Anmelder: CIS Solartechnik Gmbh 12489 Berlin (DE)	(72) Erfinder: KALBERLAH, Klaus D-12459 Berlin (DE) HOFFMANN, Thomas D-12555 Berlin (DE) JACOBS, Klaus D-12559 Berlin (DE) MÖLLER, Rainer D-01129 Dresden (DE) KAMPMANN, Andreas D-21149 Hamburg (DE) (74) Vertreter: Klickow, Hans-Henning  Patentanwälte Hansmann-Klickow-Hansmann Jessenstrasse 4 22767 Hamburg 22767 Hamburg (DE)