(19)
(11) EP 1 181 483 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.02.2002  Patentblatt  2002/09

(21) Anmeldenummer: 00909088.7

(22) Anmeldetag:  20.01.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F17C 13/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0000/409
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0060/276 (12.10.2000 Gazette  2000/41)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 30.03.1999 DE 19914282

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • PALTEN, Thomas
    D-50169 Kerpen (DE)
  • STOLLE, Robert
    D-50678 Köln (DE)
  • KALISCH, Dirk
    D-40477 Düsseldorf (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. 
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) SPERRGAS-VENTILEINRICHTUNG