(19)
(11) EP 1 183 715 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
05.04.2001

(43) Veröffentlichungstag:
06.03.2002  Patentblatt  2002/10

(21) Anmeldenummer: 00940171.2

(22) Anmeldetag:  05.05.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0001/452
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0068/974 (16.11.2000 Gazette  2000/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 07.05.1999 DE 19921244

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KLÄBSCH, Rolf-Arno
    D-39291 Lostau (DE)
  • HUBER, Ronald
    Tuscon, AZ 85750 (US)

   


(54) ANLAGE ZUR BEARBEITUNG VON WAFERN