(19)
(11)
EP 1 183 715 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
05.04.2001
(43)
Veröffentlichungstag:
06.03.2002
Patentblatt 2002/10
(21)
Anmeldenummer:
00940171.2
(22)
Anmeldetag:
05.05.2000
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
H01L
21/00
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0001/452
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0068/974
(
16.11.2000
Gazette 2000/46)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
(30)
Priorität:
07.05.1999
DE 19921244
(71)
Anmelder:
Infineon Technologies AG
81669 München (DE)
(72)
Erfinder:
KLÄBSCH, Rolf-Arno
D-39291 Lostau (DE)
HUBER, Ronald
Tuscon, AZ 85750 (US)
(54)
ANLAGE ZUR BEARBEITUNG VON WAFERN