(19)
(11) EP 1 183 739 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.03.2002  Patentblatt  2002/10

(21) Anmeldenummer: 00920665.7

(22) Anmeldetag:  05.04.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/18, H01L 31/0224
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0003/036
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0060/674 (12.10.2000 Gazette  2000/41)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 07.04.1999 DE 19915666

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PREU, Ralf
    D-79102 Freiburg (DE)
  • GLUNZ, Stefan
    D-79098 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Rösler, Uwe, Dipl.-Phys. 
Rösler Patentanwaltskanzlei, Landsberger Strasse 480a
81241 München
81241 München (DE)

   


(54) VERFAHREN SOWIE EINE VORRICHTUNG ZUR ELEKTRISCHEN KONTAKTIERUNG EINER MIT WENIGSTENS EINER DIELEKTRISCHEN SCHICHT ÜBERZOGENEN MATERIALOBERFLÄCHE