VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PHOTOLITHOGRAPHISCHEN BELICHTUNG VON BIOLOGISCHEN STOFFEN - Patent 1185364

(19)

(11)

EP 1 185 364 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	13.03.2002 Patentblatt 2002/11

(21)	Anmeldenummer: 00943606.4

(22)	Anmeldetag: 12.05.2000

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: B01J 19/00, C07K 1/04

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE0001/540

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0069/553 (23.11.2000 Gazette 2000/47)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO SI

(30)

Priorität:

14.05.1999 DE 19922941

(71)	Anmelder: Epigenomics AG
	10435 Berlin (DE)

(72)	Erfinder:
	BRAUN, Aron D-10119 Berlin (DE) HEUERMANN, Arno D-13359 Berlin (DE)

(74)	Vertreter: Schubert, Klemens, Dr.
	Neue Promenade 5 10178 Berlin-Mitte 10178 Berlin-Mitte (DE)

(54)	VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PHOTOLITHOGRAPHISCHEN BELICHTUNG VON BIOLOGISCHEN STOFFEN