(19)
(11) EP 1 186 029 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.03.2001

(43) Veröffentlichungstag:
13.03.2002  Patentblatt  2002/11

(21) Anmeldenummer: 00940148.0

(22) Anmeldetag:  20.04.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/8242, H01L 21/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0001/303
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0065/658 (02.11.2000 Gazette  2000/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 27.04.1999 DE 19919110

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WEINRICH, Volker
    D-81373 München (DE)
  • SCHINDLER, Günther
    D-80802 München (DE)
  • MAZURE-ESPEJO, Carlos
    D-81667 München (DE)

(74) Vertreter: Lange, Thomas, Dr. et al
PatentanwälteLambsdorff & LangeDingolfinger Strasse 6
81673 München
81673 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM STRUKTURIEREN EINER METALL- ODER METALLSILIZIDSCHICHT SOWIE EIN MIT DIESEM VERFAHREN HERGESTELLTER KONDENSATOR