(19)
(11) EP 1 186 044 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.03.2002  Patentblatt  2002/11

(21) Anmeldenummer: 00926688.3

(22) Anmeldetag:  24.03.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/108, H01L 21/8242
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0000/906
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0060/666 (12.10.2000 Gazette  2000/41)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 30.03.1999 DE 19914496

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WILLER, Josef
    D-85521 Riemerling (DE)
  • REISINGER, Hans
    D-82031 Grünwald (DE)
  • SCHLÖSSER, Till
    D-01109 Dresden (DE)
  • STENGL, Reinhard
    D-86391 Stadtbergen (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) SPEICHERZELLENANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG