(19)
(11) EP 1 192 652 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.04.2002  Patentblatt  2002/14

(21) Anmeldenummer: 00943661.9

(22) Anmeldetag:  30.05.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/336, H01L 29/788
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0001/769
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0101/476 (04.01.2001 Gazette  2001/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

(30) Priorität: 28.06.1999 DE 19929618

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WAWER, Peter
    D-01309 Dresden (DE)
  • SPRINGMANN, Oliver
    D-01109 Dresden (DE)
  • WOLF, Konrad
    D-83624 Otterfing (DE)
  • HEITZSCH, Olaf
    D-01640 Coswig (DE)
  • HUCKELS, Kai
    24105 Kiel (DE)
  • RENNEKAMP, Reinhold
    D-01099 Dresden (DE)
  • RÖHRICH, Mayk
    01099 Dresden (DE)
  • STEIN VON KAMIENSKI, Elard
    D-01099 Dresden (DE)
  • KUTTER, Christoph
    D-01099 Dresden (DE)
  • LUDWIG, Christoph
    D-01465 Langebrück (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VEFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER NICHTFLÜCHTIGEN HALBLEITER-SPEICHERZELLE MIT SEPARATEM TUNNELFENSTER