ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01192653A120020403EP00946027.02000062720011217FrFrFr990824819990628FR20020403200214200204032002147 7H 01L 21/336 A 7H 01L 29/786 B 7H 01L 29/51 BdeSEITENÄTZUNGVERFAHREN MITTELS LÖCHERN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTENenMETHOD FOR LATERAL ETCHING WITH HOLES FOR MAKING SEMICONDUCTOR DEVICESfrPROCEDE DE GRAVURE LATERALE PAR TROUS POUR FABRIQUER DES DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURSFRANCE TELECOM01334140B 99/1803 EPTELECOM, FRANCE6, Place d'Alleray75015 ParisFRSKOTNICKI, Thomas105, rue de la FermeF-38920 CrollesFRJURCZAK, Malgorzata3bis, rue MoyranRésidence St.Exupéry - Studio 07F-38100 GrenobleFRCasalonga, Axel00014511BUREAU D.A. CASALONGA - JOSSEMorassistrasse 880469 MünchenDEATBECHCYDEDKESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSEFR000179620000627FrWO010147720010104200101