(19)
(11) EP 1 197 470 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.12.2004  Patentblatt  2004/49

(43) Veröffentlichungstag A2:
17.04.2002  Patentblatt  2002/16

(21) Anmeldenummer: 01124511.5

(22) Anmeldetag:  12.10.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 3/00, B81B 7/00, H01J 33/04
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 13.10.2000 DE 10050810

(71) Anmelder:
  • Philips Intellectual Property & Standards GmbH
    20099 Hamburg (DE)
  • Koninklijke Philips Electronics N.V.
    5621 BA Eindhoven (NL)

    FR GB 

(72) Erfinder:
  • Bachmann, Klaus, Dr.
    Habsburgerallee 11, 52064 Aachen (DE)
  • Beckmann, Manfred
    Habsburgerallee 11, 52064 Aachen (DE)
  • Flisikowski, Peter
    Habsburgerallee 11, 52064 Aachen (DE)
  • Harding, Geoffrey
    Habsburgerallee 11, 52064 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Volmer, Georg, Dipl.-Ing. et al
Philips Intellectual Property & Standards GmbH, Postfach 50 04 42
52088 Aachen
52088 Aachen (DE)

   


(54) Verfahren zur Herstellung eines elektronenstrahltransparenten Fensters sowie elektronenstrahtransparentes Fenster


(57) Die Erfindung betrifft ein elektronenstrahltransparentes Fenster umfassend eine elektronenstrahltransparente Folie (1; 101) sowie ein Element (2; 102) zur Unterstützung eines peripheren Bereichs (1a, 1b) der elektronenstrahltransparenten Folie im Betriebszustand aus einem Material, welches einen größeren linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten als der des Folienmaterials aufweist, mit einer Zwischenschicht (4; 104a,b) zwischen der Folie (1; 101) und einem Halteelement (2; 102) als Unterstützungselement, die aus einem Material besteht mit einem linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der, gesehen über den Bereich der Verarbeitungstemperaturen, gleich oder ähnlich ist zu dem linearen Wärmeausdehnungskoeffizient des Folienmaterials und kleiner ist als der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient des Materials des Halteelementes.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines elektronentransparenten Fensters und einen Röntgenstrahler mit einem elektronentransparenten Fenster.






Recherchenbericht